1nm的单晶硅薄膜，磁控溅射吧，别的还真没法。1，000，000，000纳米=1米m1，000，000纳米=1毫米mm1，000纳米=1微米#181m有时候也会见到埃米这个单位，为10^10m1纳米=10埃米记为#197#160#160#160概况硅单晶原子纳米；随着现代设施的建设使前沿...